Hitachi日立 S-4800冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
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S-4800冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
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| 產(chǎn)品介紹： |
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S-4800高分辨冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
日立S4800掃描電子顯微鏡采用大樣品室的半內(nèi)透鏡設(shè)計(jì)，卻能達(dá)到超高分辨率，可以與內(nèi)透鏡UHR掃描電鏡相媲美。
特點(diǎn)：
1. 新型物鏡采用專(zhuān)利的ExB設(shè)計(jì)。使用單檢測(cè)器和超級(jí)ExB可以分別收集和分離單純
二次電子、混合二次電子及背散射電子的信號(hào)。
2. 1KV低加速電壓時(shí)保證有2.0nm的分辨率。
3. 兩種樣品臺(tái)可選：I型50mm x 50mm小樣品臺(tái)或Ⅱ型110mm x 110mm大樣品臺(tái)。
4. 包括渦輪分子泵在內(nèi)的先進(jìn)的真空系統(tǒng)。
5. 便于用戶(hù)使用的、基于圖形用戶(hù)界面的控制系統(tǒng)，包含多種自動(dòng)功能，操作簡(jiǎn)易
性能指標(biāo)：
| 二次電子分辨率 |
1.0nm (15kV)
2.0nm (1 kV)
1.4nm (1 kV，減速模式) |
| 電子槍 |
冷場(chǎng)發(fā)射電子源 |
| 加速電壓 |
0.5~30kV(0.1KV/步，可變) |
| 放大倍率 |
x 20~ x 800,000 |
| 物鏡光闌 |
4孔，真空外選擇和調(diào)校(內(nèi)置加熱器) |
| 檢測(cè)器 |
二次電子檢測(cè)器 (高位/低位)
背散射電子檢測(cè)器(可選)
EDX(可選)
透射電子檢測(cè)器(可選)
法拉第杯(可選) |
| 樣品臺(tái) |
l型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm
Z:1.5~30mm T: -5°~70°R:360° 驅(qū)動(dòng):手動(dòng)(可選3軸/5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng))
ll型:
X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm
Z: 1.5 ~40 mm T: -5°~ 70°
R: 360°驅(qū)動(dòng): 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
| 操作/顯示 |
操作系統(tǒng)： WindowsTM XP |
| 圖像儲(chǔ)存 |
640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840 |
圖像編輯
圖像文件格式 |
內(nèi)置圖像處理軟件和圖像編輯軟件
BMP, TIFF, JPEG |
| 掃描速度 |
TV/慢速 (0.5 ~ 40 s/幀) 用于觀(guān)察
慢速 (40 ~ 320 s/幀) 用于記錄 |
| 自動(dòng)數(shù)據(jù)記錄 |
膠卷號(hào)，加速電壓，微米標(biāo)尺，放大
倍率，日期，時(shí)間，工作距離 |
| 電子圖像移動(dòng) |
±12µm ( W.D. = 8 mm) |
| 真空系統(tǒng) |
自動(dòng)調(diào)節(jié)
離子泵 3 臺(tái)
渦輪分子泵(磁浮型) 1 臺(tái)
機(jī)械泵 1 臺(tái) |
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