|
SUNALE™ R系列技術特點
基本特點：
晶片尺寸 2-6”, 50-150 mm (8’’ = 200 mm on request)
工藝溫度 Up to 500°C
反應室體積 小型、中型、大型
反應室材料 316 SS, Ti, Ni, Al (quartz)
前驅體 2-6 氣體 / 氣體 / 固體
基片裝載 氣體升降
尺寸：
尺寸 27.6 x 41.3 x 36.4’’, 70 x 105 x 92.5 cm (W x H x D)
重量 200 kg
工況：
電源 100-240 V, 50/60 Hz, 1- or 3-phase, 3.7 kW Vac
真空泵 30-80 m3/h
載氣 99.999 % N2 / Ar, min. 2 slm
壓縮空氣 4-5.5 bar 過壓
冷卻水 反應器不需要
排氣 為真空泵及源櫥柜配備
樣品裝載選項：
Picoloader™手動樣品裝載系統(tǒng)，帶一個預真空室和閘閥
|