主要特點(diǎn)
◆ 可測(cè)定波長(zhǎng)范圍從280nm到2300nm的透射和反射光譜
◆ 在同一區(qū)域可同時(shí)測(cè)定T和R值
◆ 可對(duì)折射率(n)，吸收系數(shù)(k) 和厚度(d)進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)定
◆ 樣品可在X-Y掃描臺(tái)上進(jìn)行掃描
◆ 入射光角度可以是固定角度、多角度和從0°到90°的連續(xù)變化的角度
◆ 可用s-、p-或非偏振光作為入射光對(duì)T和R進(jìn)行測(cè)定
◆ 可對(duì)透明基片進(jìn)行測(cè)定且不需要對(duì)樣品進(jìn)行前處理
◆ 內(nèi)建的材料數(shù)據(jù)庫(kù)
◆ 密封的樣品室
◆ 可選擇散射模式
◆ 具有在線或離線分析功能
對(duì)T和R同時(shí)測(cè)定
KD-8000系統(tǒng)在同一個(gè)光斑處，同時(shí)對(duì)透過(guò)光譜和發(fā)射光譜進(jìn)行測(cè)定，保證了兩套數(shù)據(jù)具有直接的相關(guān)性。通過(guò)測(cè)定這些光譜，全自動(dòng)的控制和分析軟件系統(tǒng)可以從中得到n、k和d值。而且所有這些都源自同一次測(cè)定。不同散射模式的選擇使得對(duì)寬廣范圍材料的分析成為可能，而且用戶(hù)可以選擇缺省模式或者高級(jí)分析模式。
功能強(qiáng)大的Pro-OptixTM控制和分析軟件系統(tǒng)包括一個(gè)可編輯的數(shù)據(jù)庫(kù)，它允許對(duì)材料進(jìn)行預(yù)先定義，以提高分析速度。該軟件的其他特點(diǎn)包括顏色的匹配和太陽(yáng)光的計(jì)算以及金屬薄膜的算法。樣品可以是透明的、不透明的或者半吸收的而無(wú)需對(duì)它們特殊處理。
NKD-8000是唯一一款能全部提供上述功能的分光型光學(xué)薄膜分析系統(tǒng)，它為薄膜表征設(shè)立了一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)。
可變的入射光角度
①反射光檢測(cè) ②光束管 ③Y軸坐標(biāo) ④透射光檢測(cè)器 ⑤Z軸坐標(biāo) ⑥X軸坐標(biāo) ⑦樣品臺(tái) ⑧馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的可變角度選擇裝置
NKD-8000系統(tǒng)提供可變的角度選擇裝置，它提供完全馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的，可由PC機(jī)控制入射光的角度，入射角度從從0°到90°可自由選擇。 通過(guò)作為選件的X-Y掃描臺(tái)可以對(duì)大尺寸樣品進(jìn)行掃描，樣品在X、Y兩個(gè)方向上的最大行程是100mm，同時(shí)保持入射光斑始終位于行程的中間。
通過(guò)使用分析軟件中的集成工具就可實(shí)現(xiàn)對(duì)T和R的s-偏振光譜和p-偏振光譜進(jìn)行獨(dú)立分析或二者一起分析。
在測(cè)定時(shí)有許多樣品架備選，它們可以?shī)A持不同類(lèi)型尺寸的樣品。全PC控制使這種方法對(duì)整個(gè)樣品的數(shù)據(jù)收集和分析變得簡(jiǎn)單、準(zhǔn)確和快捷。
多個(gè)角度
如果在應(yīng)用中只需一些不連續(xù)的入射光角度，那么多角度選件可以提供一個(gè)滿(mǎn)意的解決方案。從0°到90°，用戶(hù)可自定義三個(gè)入射光角度。
附件
熱臺(tái)：可控制樣品溫度至150度，測(cè)定變溫下的T和R，對(duì)測(cè)定光學(xué)涂層和基體的光譜位移十分有用。
顯微鏡/相機(jī)：對(duì)樣品進(jìn)行顯微分析。
微光斑附件：將入射光斑聚焦至200微米，特別適合表征微小樣品和局部區(qū)域。
光譜范圍
NKD-8000 350nm—1000nm ( 標(biāo)準(zhǔn)模式 )
NKD-8000v 280nm—1000nm ( 紫外增強(qiáng)型)
NKD-8000r 800nm—1700nm ( 紅 外 型 )
NKD-8000w 350nm—1700nm (寬光譜 型 )
NKD-8000e 350nm—2200nm (超寬光譜 型 )
注：寬光譜型提供兩個(gè)檢測(cè)器，可以覆蓋350nm到1000nm和800nm到1700nm或2200nm (僅適用nkd-8000e)，但二者不能同時(shí)用。
獲得數(shù)據(jù)時(shí)間
2—10分鐘，這取決于光譜范圍和不同選件
數(shù)據(jù)分析時(shí)間
5秒—5分鐘，取決于數(shù)據(jù)的復(fù)雜程度
光譜分辨率
1nm或2nm （可選）
光源
NKD-8000v 150W 氙弧燈
其他 高穩(wěn)態(tài)100W石英鎢鹵燈
樣品尺寸
10×10mm到200×250mm標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng),100mm 直徑樣品的掃描臺(tái)
層數(shù)
至多5層，兩個(gè)未知參數(shù)
薄膜厚度范圍
1nm到25um，取決于角度、偏振和波長(zhǎng)
1nm 需要增加橢偏模塊
基片
透明、半透明或半吸收或半導(dǎo)體
材料
電介質(zhì)、高聚物、半導(dǎo)體和金屬
精確度
對(duì)于半吸收薄膜 典型 最大
薄膜厚度 ＜1% ＜3%
折射率 ＜0.1% ＜1%
消光系數(shù) ＜1% ＜3%
對(duì)于金屬薄膜
薄膜厚度 ＜1% ＜3%
折射率 ＜1% ＜3%
消光系數(shù) ＜1% ＜3%
重現(xiàn)性
透射率 ＜0.01% ＜0.1%
反射率 ＜0.01% ＜1%
折射系數(shù) ＜0.01% ＜0.1%
入射光角度
30°、50°或70°（標(biāo)準(zhǔn)單元）或由客戶(hù)指定的從
20°到70°連續(xù)可變（可變角版本）或3個(gè)位置角度
樣品上的光斑尺寸
5mm(標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng))，250um（選件）
電源
220V，50Hz，2A 或110V，60Hz，3A
外觀尺寸
890×540×720mm
重量
105Kg
選件
多角度，可變角度，X-Y樣品掃描臺(tái)，多種標(biāo)準(zhǔn)尺寸品架。樣品觀測(cè)顯微鏡。手動(dòng)或全軟件控制的偏振選件（s-、p-或非偏振）。樣品加熱臺(tái)。臺(tái)式機(jī)或工業(yè)PC。